鼓舞人心！國產(chǎn)5nm蝕刻機來了，核心技術達到世界先進水平。

　　在半導體領域，光刻機對大家來說并不陌生，因為光刻機在芯片制造中有著不可撼動的地位，所以光刻機在成本和核心技術方面都讓很多[敏感詞]向往。不過，今天給大家講的是另一種制造芯片的專用設備，就是光刻機的兄弟蝕刻機。說起蝕刻機，很多人不知道它是什么，但其實蝕刻機的作用并不比光刻機差。即使是光刻機，在芯片制造過程中也需要蝕刻機的輔助。兩者相輔相成，才能做出完美的芯片。可見，蝕刻機在芯片制造領域也有著非常高的地位。中國自主研發(fā)的蝕刻機有多厲害？

　　據(jù)相關資料顯示，關于中國自主研發(fā)蝕刻機的消息早是2017年4月從研發(fā)半導體的中微公司傳出，稱中微公司攻克了5 nm工藝的蝕刻機。這個消息被報道后，立刻在國內(nèi)外半導體行業(yè)激起千層浪，因為蝕刻機不僅價格昂貴，而且核心技術和工藝極其先進，所以國產(chǎn)蝕刻機的問世對于中國半導體行業(yè)來說無疑是一枚重磅炸彈。現(xiàn)階段，中威公司在調(diào)試完5納米蝕刻機后，已經(jīng)通過了TSMC的認證，而TSMC在量產(chǎn)5納米芯片時，生產(chǎn)線使用的部分蝕刻機將由中威公司提供，相關產(chǎn)品將刻有“中國制造”字樣。按照中微公司的計劃，后續(xù)將再次升級5 nm蝕刻機，打造世界上[敏感詞]的紫外光刻機，使生產(chǎn)5 nm芯片時，芯片精度與蝕刻機高度一致。值得一提的是，目前中微公司已經(jīng)積累了一定的3 nm芯片技術，所以從側面可以推斷中微公司很可能已經(jīng)開始制造3 nm蝕刻機。

　　那么蝕刻機是怎么工作的呢？其實在芯片制造的過程中，首先會用光刻機將特定的高精度電路圖復制到硅片上，然后用蝕刻機根據(jù)這個圖進行施工，在相關區(qū)域蝕刻出標記點，只留下芯片重要的部分。其實這個原理就是蝕刻機蝕刻的是前面部分的硅和化合物，后面部分的金屬和電解質。另外，蝕刻機中的蝕刻工藝現(xiàn)階段可分為等離子干法蝕刻和濕法蝕刻，而這兩種蝕刻技術又可細分為三類，即難度[敏感詞]的硅蝕刻、難度中等的介質蝕刻和加工工藝簡單的金屬蝕刻。目前中微公司的半導體主要從事介質刻蝕和加工技術金屬刻蝕，而難的硅刻蝕需要精密的極紫外光刻機。現(xiàn)階段中微公司還在攻關中，但僅僅依靠難度適中、工藝簡單的刻蝕技術，就足以讓中微公司在半導體行業(yè)處于全球先進水平。在過去的10年里，中國中微公司先后承擔并成功完成了三臺蝕刻機的研發(fā)；半導體領域65-45 nm、32-22 nm、22-14 nm的d項目，都取得了巨大的成功。雖然現(xiàn)在也出了5納米的蝕刻機，在半導體領域也確實步入了[敏感詞]水平，但是因為蝕刻機和光刻機是相輔相成的，所以5納米的蝕刻機只是在國產(chǎn)芯片領域邁出了關鍵的一步。另外，由于西方[敏感詞]對中國的芯片出口和芯片制造有一定的封鎖，中國的芯片制造整體水平還很落后，未來要想真正趕上西方[敏感詞]還有很長的路要走。